Phạm TTA, Ngô MN, Nguyễn HT, Hoàng VD, Phan BT, Trần CV. Ảnh hưởng của nhiệt độ lắng đọng lên cấu trúc tinh thể, tính chất điện và quang của màng mỏng ZnO pha tạp F được chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron. VJST B [Internet]. 25 Tháng Sáu 2019 [cited 16 Tháng Bảy 2026];61(6). Available at: https://b.vjst.vn/index.php/ban_b/article/view/218