Thiết kế và mô phỏng hoạt động của vi chấp hành nhiệt điện silicon-polymer

Tóm tắt

Bài báo trình bày về thiết kế và mô phỏng hoạt động của một vi chấp hành nhiệt điện silicon-polymer với kích thước nhỏ; điện áp hoạt động thấp; lực và độ dịch chuyển đầu ra lớn; tương thích với quy trình chế tạo CMOS. Hoạt động của cấu trúc được phân tích dựa trên lý thuyết cơ học cổ điển và phương pháp mô hình hóa phần tử hữu hạn. Các kết quả phân tích lý thuyết và mô phỏng phù hợp với các kết quả thực nghiệm. Cấu trúc vi chấp hành cải tiến được thiết kế dựa trên các mô hình đạt được về cơ học và truyền nhiệt. Vi chấp hành nhiệt điện silicon-polymer này có tiềm năng ứng dụng trong các bộ vi thao tác, mổ nội soi…