Lắng đọng lớp phủ vàng trên bề mặt màng PET bằng phương pháp phún xạ magnetron

Tóm tắt

Phún xạ magnetron xung DC tần số 100 kHz được sử dụng để lắng đọng lớp phủ vàng trên bề mặt màng polyethylene
terephthalate (PET). Tính chất quang học của lớp phủ vàng được đánh giá dựa trên các phép đo phản xạ và truyền qua trên máy quang phổ Jasco V-770/SLM-907. Phân tích quang phổ cho biết thông tin về màu sắc, tạp chất, chất lượng bề mặt và độ dày của lớp phủ. Thí nghiệm phún xạ từ bia tròn, lớp kim loại vàng có màu sắc tương đối đồng đều trong vùng đối diện bia, độ dày >60 nm, điện trở <6 Ω. Tính chất độ dày của lớp phủ vàng giảm dần về phía xa trung tâm có ảnh hưởng đến các tính chất vật lý khác, do vậy cần được quan tâm và sử dụng để tính toán khi phủ màng trên diện tích lớn. Lớp phủ vàng chế tạo vượt qua các phép thử về độ bám dính, độ bền ma sát và độ bền với tác nhân làm sạch, phù hợp cho các ứng dụng trong công nghiệp và đời sống như trang trí hoặc chế tạo điện cực cho cảm biến sinh học và linh kiện điện tử.